حلول محامل السيراميك لصناعة أشباه الموصلات
توفير محامل عالية الأداء لمعدات تصنيع أشباه الموصلات ذات النقاء والدقة العاليين
صناعة أشباه الموصلات ومحامل السيراميك
يعتبر تصنيع أشباه الموصلات قلب صناعة التكنولوجيا اليوم، حيث يفرض متطلبات عالية للغاية على دقة وموثوقية ونقاء معدات الإنتاج. تلعب محامل السيراميك دورًا لا غنى عنه في هذا المجال.
المتطلبات الخاصة لتصنيع أشباه الموصلات
تتطلب عملية تصنيع أشباه الموصلات بيئة فائقة النقاء، حيث أن أي تلوث جزئي صغير قد يؤدي إلى عيوب في الرقائق. في الوقت نفسه، تفرز المواد الكيميائية المسببة للتآكل وبيئات درجة الحرارة العالية المستخدمة في العملية متطلبات عالية للغاية على مكونات المعدات.
الدور الرئيسي لمحامل السيراميك
السيراميك واضعة هو الخيار المثالي للحصول على معدات أشباه الموصلات بسبب الأداء الممتاز : غير المغناطيسية ، ومقاومة التآكل ، وانخفاض معامل التمدد الحراري ، وصلابة عالية وممتازة خصائص العزل .
بيانات الأداء الرئيسية لمحامل السيراميك لأشباه الموصلات
| مؤشر الأداء | محامل سيراميك نيتريد السيليكون (Si3N4) | محامل سيراميك أكسيد الزركونيوم (ZrO2) | محامل فولاذية تقليدية | التأثير على عملية أشباه الموصلات |
|---|---|---|---|---|
| محامل فولاذية تقليدية(g/cm³) | 3.2-3.3 | 5.7-6.0 | 7.8-7.9 | تقليل القصور الذاتي، زيادة سرعة الدوران واستجابة السرعة |
| الصلابة (HV) | 1400-1800 | 1200-1400 | 700-800 | تحسين مقاومة التآكل، إطالة عمر المعدات |
| معامل التمدد الحراري (10⁻⁶/K) | 3.0-3.2 | 10.0-11.0 | 11.0-13.0 | استقرار أبعاد أفضل في بيئات درجة الحرارة العالية |
| مقاومة التآكل | ممتاز (مقاوم للأحماض والقلويات) | ممتاز (مقاوم للأحماض والقلويات) | عاديّة (تتطلب معالجة خاصة) | التكيف مع بيئات العمليات المسببة للتآكل، تقليل التلوث |
| كمية الجسيمات المنتجة | (<0.1 مجم/1000 ساعة) | (<0.1 مجم/1000 ساعة) | (1-5 مجم/1000 ساعة) | تلبية متطلبات غرفة نظافة من الفئة 1 |
| أقصى درجة حرارة تشغيل(°C) | 800 | 600 | 150-200 | مناسبة لمعدات عمليات درجة الحرارة العالية |
| النفاذية المغناطيسية | غير مغناطيسي | غير مغناطيسي | مغناطيسي | تجنب التداخل مع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة |
مجالات التطبيق
تُستخدم محامل السيراميك على نطاق واسع في العديد من الأجزاء الرئيسية في معدات تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك مضخات الفراغ، وأذرع الروبوتات، وأنظمة نقل الرقائق، وآلات التصوير الضوئي، ومعدات CVD، وآلات النقش، وآلات غرس الأيونات، إلخ. مع التطور المستمر لتكنولوجيا عمليات أشباه الموصلات، فإن متطلبات أداء محامل السيراميك في تحسن مستمر أيضًا.
اتجاهات التطور التكنولوجي
مع تطور صناعة أشباه الموصلات إلى أصغر عملية العقد ( على سبيل المثال ، 3nm ، 2nm ) ، متطلبات السيراميك واضعة هي أيضا في ازدياد . وتشمل الاتجاهات المستقبلية أعلى سرعة دوران ( أكثر من 30 ، 000 دورة في الدقيقة ) ، وانخفاض إنتاج الجسيمات ، وتحسين الاستقرار في درجة الحرارة ، وأطول خدمة الحياة .
مواقع التطبيق في معدات أشباه الموصلات
تستخدم محامل السيراميك الخاصة بنا على نطاق واسع في الأجزاء الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات، مما يضمن أداءً عاليًا للمعدات في البيئات القاسية
| اسم المعدة | صورة المعدة | موقع التطبيق | متطلبات الأداء | سبب جدوى محامل السيراميك |
|---|---|---|---|---|
| أنظمة مضخات الفراغ |  |
محامل العمود الرئيسي للمضخات الفراغية الجافة ومضخات التوربو الجزيئية | أداء عالي السرعة، منخفض الاهتزاز، ومقاومة التآكل لضمان استقرار بيئة الفراغ | مواد السيراميك ذات كثافة منخفضة ومعامل مرونة عالي تتيح سرعات دوران أعلى؛ مقاومة تآكل ممتازة لمقاومة الغازات المسببة للتآكل في بيئات الفراغ |
| روبوتات نقل الرقائق人 |  |
مفاصل ذراع الروبوت وأنظمة النقل | تحديد موضع عالي الدقة وتشغيل نظيف لمنع تلوث الرقائق | السيراميك واضعة لا تنتج الجسيمات ، وتلبية متطلبات النظافة الفائقة . انخفاض معامل الاحتكاك يضمن دقة تحديد المواقع والتشغيل السلس |
| آلات التصوير الضوئي |  |
أنظمة تحديد موضع مناضد العمل الدقيقة والعدسات | دقة نانومترية وعدم وجود تداخل مغناطيسي لتحسين دقة التصوير الضوئي | السيراميك واضعة المغناطيسي تماما ، لا تتداخل مع دقة النظام الإلكتروني . صلابة عالية والاستقرار لضمان دقة تحديد المواقع نانومتر |
| معدات CVD/PVD |  |
آليات الدوران وأنظمة النقل داخل غرف التفاعل عالية الحرارة | مقاومة بيئات درجة الحرارة العالية والغازات المسببة للتآكل | مواد السيراميك ذات استقرار ممتاز في درجة الحرارة العالية ومقاومة للتآكل، تمكن من العمل المستقر طويل الأمد في بيئات الغازات المسببة للتآكل ودرجات الحرارة العالية |
| معدات النقش |  |
آليات تثبيت الرقائق والدوران | مقاومة تآكل المواد الكيميائية القوية المسببة للتآكل، وإطالة عمر المعدات | السيراميك واضعة لديه مقاومة التآكل قوية لمعظم الأحماض والقلويات والمذيبات . |
| آلات غرس الأيونات |  |
أنظمة التحكم في الحزمة ونقل قرص الهدف | عدم المغناطيسية وخصائص عزل عالية لضمان دقة حزمة الأيونات | خصائص العزل في محامل السيراميك تمنع تراكم الشحنات والتفريغ؛ عدم المغناطيسية يضمن عدم تداخل حزمة الأيونات |
| التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) |  |
تلميع منصة القيادة رقاقة نظام لقط | مقاومة عالية للاهتراء واستقرار كيميائي | مواد السيراميك ذات صلابة عالية، مقاومة ممتازة للاهتراء، وفي نفس الوقت تقاوم التآكل الكيميائي لمخاليط التلميع |
| معدات الفحص والقياس |  |
أنظمة النقل لأجهزة القياس الدقيقة ومناضد المجسات | ضمان دقة القياس والتكرار | معامل التمدد الحراري المنخفض والاستقرار البعدي لمحامل السيراميك يضمنان الحفاظ على دقة قياس عالية حتى في بيئات تغير درجة الحرارة |
مزايا منتجات محامل ران السحابية
محامل السيراميك الخاصة بنا توفر مزايا أداء فريدة لتصنيع أشباه الموصلات
نقاء فائق
خصائص منخفضة جدًا لإنتاج الجسيمات وإطلاق الغازات، تفي بمتطلبات غرفة نظافة أشباه الموصلات من الفئة 1، تمنع تلوث الرقائق. كمية الجسيمات المنتجة أقل من 0.1 مجم/1000 ساعة تشغيل.
مقاومة تآكل ممتازة
فائدة نموذج يمكن أن تقاوم التآكل من مختلف الأحماض القوية والقلويات القوية والغازات المسببة للتآكل المستخدمة في عملية أشباه الموصلات ، وإطالة عمر خدمة المعدات . الاستقرار ممتازة في معظم البيئات الحمضية والقلوية .
استقرار درجة الحرارة العالية
الحفاظ على استقرار الأبعاد والخصائص الميكانيكية في بيئات درجة الحرارة العالية، مناسبة لمعدات العمليات عالية الحرارة مثل CVD وأفران الانتشار. درجة حرارة التشغيل تصل إلى 800°C (مادة نيتريد السيليكون).
عدم المغناطيسية والعزل
فائدة نموذج تماما غير المغناطيسية ، وارتفاع العزل ، لا تتداخل مع دقة الأجهزة الإلكترونية وأدوات القياس في عملية تصنيع أشباه الموصلات . المقاومة يمكن أن تصل إلى أكثر من 10 ⁴Ω · سم .