هل تعرف كيفية تلميع وتنظيف CMP المعدات ؟

هل تعرف كيف تقوم معدات CMP بالتلميع والتنظيف؟

الجواب/: هذا "المهووس بالدقة" الذي يعمل بجد أمامك هو أحد المعدات الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات، وهي معدات التلميع الكيميائي الميكانيكي، وتُعرف اختصاراً بـ CMP. تقوم هذه المعدات بإزالة المواد الزائدة من سطح الرقاقة من خلال الدمج بين التآكل الكيميائي والصقل الميكانيكي، مما يحقق تسوية عالية الدقة ويمهد الطريق لعمليات لاحقة مثل الطباعة الضوئية والنقش.

تتكون الأجزاء الأساسية لمعدات CMP من قسم التلميع وقسم التنظيف. يشمل قسم التلميع رأس التلميع ولوحة الصقل، حيث يمسك الرأس بالرقاقة ويطبق ضغطاً، وتدور اللوحة وسادة التلميع لضمان استواء السطح. بينما يستخدم قسم التنظيف فرش التنظيف ونظام إمداد السائل لإزالة الجزيئات والملوثات بعد التلميع، مما يضمن نظافة الرقاقة.

خلال هذه العملية، تتعرض العديد من الأجزاء أو المكونات للوسائط المسببة للتآكل مثل سائل التلميع، لذلك يجب أن تتمتع المحامل بمقاومة عالية للتآكل والتآكل ودرجات الحرارة العالية. وإذا تعرض المحمل للتلف، فقد يؤدي ذلك إلى زيادة الاهتزاز، وانخفاض الدقة، بل وحتى خدش الرقاقة، مما يسبب خسائر كبيرة.

لذا، من الضروري اختيار المحمل المناسب. وتُعد المحامل الخزفية مثالية لمعدات CMP بسبب مقاومتها للتآكل، وصلابتها العالية، وانخفاض التمدد الحراري، وعدم مغناطيسيتها. على سبيل المثال، تؤدي محامل نيتريد السيليكون من Yun Bearings أداءً ممتازاً في البيئات عالية الحرارة والسرعة والتعرض الكيميائي، مما يطيل عمر المعدات بشكل ملحوظ ويقلل من تكاليف الصيانة. إذا كنت تواجه ظروف تشغيل مماثلة ولديك حيرة في اختيار المحمل، فلا تتردد في التواصل معنا!

الخط الساخن الوطني: 4006-808-505

الدعم الفني: 136-5744-5999

خدمة المبيعات: 136-5744-3999